Khi chiều dài theo một hướng nhỏ hơn chiều dài theo hai hướng còn lại thì cấu trúc này được gọi là màng mỏng. Ngày nay, việc ứng dụng liên tục các màng vi điện tử, màng quang học, màng chống{1}}oxy hóa, màng từ điện trở khổng lồ, màng siêu dẫn nhiệt độ cao-, v.v. trong sản xuất công nghiệp và đời sống con người, độ dày của màng sản xuất trong công nghiệp là một thông số rất quan trọng, trực tiếp liên quan đến việc vật liệu màng có thể hoạt động bình thường hay không.
Thông thường, độ dày của màng đề cập đến khoảng cách giữa bề mặt của chất nền và bề mặt của màng. Trên thực tế, bề mặt của màng không đồng đều và không liên tục, có các lỗ kim, vết nứt vi mô, sợi sợi, tạp chất, khuyết tật mạng và các phân tử bị hấp phụ trên bề mặt. Ví dụ: các màng mỏng khác nhau trong quy trình sản xuất mạch tích hợp quy mô lớn{2}}sẽ có tác động trực tiếp đến hiệu suất của mạch tích hợp do mức độ tích hợp mạch được cải thiện liên tục và bất kỳ thay đổi nhỏ nào về độ dày của màng mỏng. Ngoài ra, các tính chất cơ học, tính chất truyền ánh sáng, tính chất từ, tính dẫn nhiệt, cấu trúc bề mặt, v.v. của vật liệu màng mỏng có liên quan chặt chẽ với độ dày. Do đó, phép đo trực tuyến chính xác độ dày màng trong quá trình sản xuất là phương tiện quan trọng để đảm bảo chất lượng sản phẩm và nâng cao hiệu quả sản xuất.
Để đo chính xác độ dày màng, nó phụ thuộc vào loại cảm biến độ dày được sử dụng. Hiện nay, chủ yếu có một số phương pháp cho công nghệ phát hiện độ dày màng trực tuyến:
1. Đầu dò Beta là cảm biến sớm nhất được sử dụng để phát hiện màng mỏng. Nó sử dụng nguồn bức xạ beta làm nguồn tín hiệu và công nghệ đã trưởng thành. Tuy nhiên, cần phải có giấy phép sử dụng nguồn phóng xạ và thủ tục xuất nhập khẩu tương đối phức tạp. Có một-giới hạn tuổi thọ của thời gian sử dụng và độ chính xác của việc phát hiện sẽ giảm khi nguồn phóng xạ suy giảm.
2. Đầu dò hồng ngoại sử dụng nguyên lý các dải hồng ngoại cụ thể được hấp thụ mạnh trong màng nhựa cụ thể để đo độ dày của màng. Cảm biến có khả năng phát hiện ổn định và không bị ảnh hưởng bởi những thay đổi của môi trường, nhưng nhạy cảm với những thay đổi về chất phụ gia và màu sắc, không phù hợp để sản xuất nhiều sản phẩm trên cùng một dây chuyền sản xuất.
3. Đầu dò tia X-sử dụng ống tia X-để tạo ra tia X-làm nguồn tín hiệu nhằm phát hiện độ dày của màng nhựa. Có nhiều ưu điểm: chất phóng xạ bay; năng lượng thấp không cần giấy phép; phạm vi đo rộng; độ chính xác đo cao; tất cả các loại nhựa có thể được đo lường mà không bị ảnh hưởng bởi chất phụ gia và hạt màu.
Hiện nay, dụng cụ đo độ dày màng đã phát triển đến độ chính xác và tự động hóa cao, đạt đến trình độ rất cao. Độ chính xác đo của nó là ± 2% đến ± 5% độ dày màng đo được đối với lớp màng chung và ± 2nm đối với màng mỏng và có chức năng đo diện tích vi mô, tốc độ đo nhanh và mức độ tự động hóa cao. Đặc biệt với sự tiến bộ của công nghệ và ứng dụng các dụng cụ chính xác, ngoài các phương pháp công nghệ phát hiện trên, độ dày của màng còn có thể được đo bằng cảm biến siêu âm. Cảm biến siêu âm MaxBotix được Gongcai-MB7480 khuyên dùng là cảm biến đo khoảng cách siêu âm chính xác hiệu suất cao có thể cung cấp phép đo khoảng cách siêu âm có độ phân giải cao và độ chính xác cao trong không khí.
